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本实用新型涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备，包括第一镀膜罐体和第二镀膜罐体，所述第一镀膜罐体与第二镀膜罐体通过罐体锁轴转动连接，所述第一镀膜罐体和第二镀膜罐体的内部均设置有真空镀膜腔，所述第二镀膜罐体的内侧设置有分子镀膜窗。该碘化铯物理气相沉积镀膜设备，转换阀管可以控制罐内气体的输出方向，在镀膜加工前，通过真空泵端口将罐体内部的空气抽出，转换阀管的一侧设置有废水箱端口，废水箱端口与水箱连接，在镀膜完成后，将抽出的碘化铯蒸汽通过废水箱端口输入到水箱的内部，使碘化铯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213113466 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202021702891.2
(22)申请日 2020.08.14
(73)专利权人 上海永容光电科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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