一种晶圆平边寻边装置和光刻机.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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一种晶圆平边寻边装置和光刻机.pdf

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本实用新型实施例公开了一种晶圆平边寻边装置和光刻机。该晶圆平边寻边装置包括：承载台，用于承托和固定晶圆；驱动旋转机构，用于驱动承载台并带动晶圆旋转；光纤束，包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；光纤束的端口对准晶圆的边缘区域；工控板，与光纤束连接，用于向光发射光纤提供光信号，光信号经晶圆反射形成光反射信号；还用于接收光接收光纤采集的光反射信号，并根据光接收光纤采集的光反射信号生成平边到位信号；信号控制板，信号控制板的缺口到位信号端与工控板电连接，信号控制板通过缺口到位信号端接收平边到位信号

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213122599 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202022036164.3 (22)申请日 2020.09.16 (73)专利权人上海探跃半导体设备有限公司