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2023-03-03 发布于四川
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本公开的各实施例涉及一种电子功率器件。该电子功率器件包括碳化硅(SiC)的衬底，该衬底具有前表面和后表面，该前表面和后表面位于水平面中，并且沿着横向于该水平面的竖直轴线彼此相对。衬底包括有源区和边缘区，该有源区中设置有多个掺杂区域，该边缘区是非有源的，与有源区不同并且围绕有源区。至少在边缘区中，介电区域被布置在前表面上方。钝化层被布置在衬底的前表面上方，并且在边缘区中与介电区域接触。钝化层包括至少一个锚固区域，这些锚固区域在边缘区处延伸穿过介电区域的厚度，以便限定用于钝化层的机械锚固。根据本公开

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213124449 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202022224538.4 H01L 21/329 (2006.01) (22)申请日