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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种半导体尾气冷热双处理装置，包括箱体，所述箱体内设有冷桶和热桶,所述冷桶的上方设有集气桶，所述集气桶和冷桶之间通过总进气管连通，所述集气桶的上方可拆卸连接有若干个集气管，所述集气管的上部穿过箱体后与箱体通过法兰盘固定，所述冷桶的下部设有冷桶出气口，所述冷桶出气口上连接有冷桶出气管，所述热桶的底部设有下输气管，所述下输气管上连接有侧输气管，所述侧输气管上设有热桶进气口和热桶出气口，所述热桶进气口与冷桶出气管相连接，所述热桶出气口的上方设有风机。本实用新型同时满足不同尾气吸附的需要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213160100 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021517196.9
(22)申请日 2020.07.28
(73)专利权人 绍兴市高笙半导体科技有限公司
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