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MEMS声音传感器及MEMS麦克风.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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MEMS声音传感器及MEMS麦克风.pdf

    本实用新型实施例公开了一种MEMS声音传感器，包括：衬底；第一声音传感单元，设置在衬底上；以及第二声音传感单元，设置在衬底上，并与第一声音传感单元电性隔离；其中，第一声音传感单元和第二声音传感单元的尺寸、振膜以及背极完全相同，且第一声音传感单元的振膜上设置有至少一个质量块。本实用新型实施例提供的第一声音传感单元在第一振膜的上表面和/或下表面设计有用于增加质量的质量块，形成了新的振膜结构，增加了对振动信号敏感的灵敏度，既可以进行声压信号的检测，也可以进行人机械/骨振动信号的检测；第二声音传感单元未

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213186548 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021943265.2 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人 无锡韦尔半导体有限公司

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