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本实用新型涉及一种晶圆片架,包括:架体,所述架体中设有收容晶圆的收容腔;所述架体的一端设有与所述收容腔连通供所述晶圆放入所述收容腔中的第一开口;所述架体的侧壁上设有延伸部;所述延伸部设置于所述第一开口处且朝外侧延伸;标识结构,可拆卸设置于所述延伸部上以供区分所述晶圆片架。该晶圆片架通过在架体的延伸部上可拆卸设置标识结构,进而可便于用户区别晶圆片架,便于用户选择,并可避免出错货,从而可节约用户时间,并可避免造成经济损失。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213169376 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021422728.0
(22)申请日 2020.07.17
(73)专利权人 义
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