1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约7.07千字
  • 约 9页
  • 2023-03-04 发布于四川
  • 举报

一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备.pdf

    本实用新型公开了一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备，包括箱体，所述箱体内第一冷桶和第二冷桶，所述第一冷桶的上方设有集气桶，所述集气桶和第一冷桶之间通过总进气管连通，所述集气桶的上方可拆卸连接有若干个集气管，所述集气管的上部穿过箱体后与箱体通过法兰盘固定，所述第一冷桶和第二冷桶的下部设有导气口，两个所述导气口相对设置，两个所述导气口之间通过连通管连接，所述第二冷桶的上方设有风机，所述风机和第二冷桶之间通过风机进气管连接，所述风机通过设于其上方的电机进行驱动。本实用新型对尾气进行两次过滤，使得过滤效果

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213160098 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021515685.0 (22)申请日 2020.07.28 (73)专利权人 绍兴市高笙半导体科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >