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一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置.pdf

    本实用新型涉及吸附筒技术领域，尤其为一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，包括吸附筒总成，所述吸附筒总成的左端内侧固定连通有吸附筒进气管，所述吸附筒进气管的顶端外侧固定连通有第一耐高温气管，所述第一耐高温气管的一端内侧固定连通有第一常闭电磁气阀，所述第一耐高温气管的顶端外侧固定连通有再生装置外壳，所述再生装置外壳的顶端内侧固定连接有高速电机，所述高速电机的主轴末端固定连接有转动扇叶，所述再生装置外壳的四周内侧均固定连接有纯水加湿器，本实用新型中，通过设置的过滤装置外壳、增气泵、镍铬电热

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213160107 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021766102.1 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人 大连华邦化学有限公司

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