一种真空贴合设备.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型涉及显示技术领域,具体公开了一种真空贴合设备,包括:腔室,设置有抽真空单元,用于提供真空环境;两个相对设置的夹持单元,设置于所述腔室内,每个所述夹持单元上设置有用于吸附基板的吸附组件;加压单元,用于驱动所述夹持单元移动,以使两个所述夹持单元上吸附的基板相向压合,本实用新型提供的真空贴合设备通过在至少一个所述夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有感压组件,所述感压组件包括多个相互间隔设置的感压气囊,每个感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气,从而解决了现有技术中真空贴合设备因承载

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213240722 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202021229985.2 (22)申请日 2020.06.30 (73)专利权人 昆山龙腾光电股份有限公司

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