一种硅片切割用夹持装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于四川
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本实用新型涉及夹持技术领域,具体为一种硅片切割用夹持装置,包括架体、激光切割机、伸缩气缸和气泵,所述切割台的底端固定连接有移动块,所述切割台的表面开设有移动槽,所述移动槽的表面滑动连接有夹杆,所述夹杆的表面固定连接有螺纹杆,所述夹杆的外表面固定连接有夹盘,所述夹盘的表面固定连接有弹簧,所述弹簧的底端固定连接有夹板,所述夹杆表面套接有螺套,所述螺套的内侧固定连接有螺纹槽,所述夹杆的底端活动连接有转筒。本实用新型切割台上连接有对硅片进行夹持的机构,有效的防止硅片的移动,提高硅片的切割精度,且在对切割

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213227051 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202021354985.5 (22)申请日 2020.07.11 (73)专利权人 上

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