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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型提供一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，包括由真空腔室壁平面包绕的真空腔室，真空腔室的内部安装有放卷轴和收卷轴，在放卷轴和收卷轴之间还设置有冷却轴，真空腔室壁平面的外侧设有分子泵法兰接口，还设有离子注入法兰接口和磁过滤沉积法兰接口，该用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，通过磁过滤技术，过滤掉弧源产生的大颗粒和中性原子，得到无大颗粒的纯等离子束，可以在低的基体温度下沉积优质涂层，利用磁过滤阴极真空弧制备出高质量的纳米复合膜；通过真空腔室的设计以及电磁场的调
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213184214 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202022644414.1
(22)申请日 2020.11.16
(73)专利权人 河南航晨纳米材料有限公司
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