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一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置.pdf

    本实用新型涉及一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置，包括视觉观察组件及与视觉观察组件连接的微动对准平台，所述微动对准平台上设置有压电型力敏芯片晶元，所述微动对准平台连接有阻抗测试仪，所述阻抗测试仪电连接有计算机，通过设置有视觉观察组件及微动对准平台，视觉观察装置和微动对准平台的芯片夹盘适用于该类型芯片的测试，探针夹具能够设定特殊的标定参数，从而可抑制白噪2个数量级，进一步提高了测试的准确性，阻抗测试仪器，匹配有压电型力敏芯片的等效电路模型，可直接对该芯片进行测试，提高测试频率分辨率6个数量级，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213240317 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202020740142.2 (22)申请日 2020.04.30 (73)专利权人 上海肇擎传感技术有限公司

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