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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型涉及硅片装篮设备领域,尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构,所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构,花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构。本实用新型通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213201489 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202022225009.6
(22)申请日 2020.10.09
(73)专利权人 苏州林赛自动化科技有限公司
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