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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型提供蒸镀掩模、蒸镀掩模装置以及中间体。蒸镀掩模具备掩模主体和接合于掩模主体的支承体。掩模主体具有第1校准标识，支承体具有第2校准标识。第1校准标识和第2校准标识被设置于在俯视时互相重合的位置，并且它们中的任意一方比另一方大。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213232465 U
(45)授权公告日 2021.05.18
(21)申请号 202020146633.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
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