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一种COB固晶机.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种COB固晶机.pdf

    本实用新型提供了一种COB固晶机，包括机座、固晶工作台、固晶工作台运动机构、X轴直线运动机构、可实现直线运动及旋转运动的固晶头、晶圆盘和晶圆盘运动机构，所述固晶工作台安装在所述固晶工作台运动机构上，所述固晶工作台运动机构安装在所述机座上，所述固晶头安装在所述X轴直线运动机构上，所述X轴直线运动机构安装在所述机座上，所述晶圆盘安装在所述晶圆盘运动机构，所述晶圆盘运动机构安装在所述机座上，所述X轴直线运动机构上设有检测取晶圆位置的取晶影像检测机构，所述机座上设有将晶圆盘上晶圆顶出的顶针机构。本实用新

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212124 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022621670.9 (22)申请日 2020.11.13 (73)专利权人 深圳市卓兴半导体科技有限公司

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