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机台气体置换设备.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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机台气体置换设备.pdf

    本实用新型提供一种机台气体置换设备，涉及半导体设备领域，该机台气体置换设备包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。相较于现有技术，本实用新型提供的机台气体置换设备，能够快速置换机台腔体内的残存气体，并且快速去除机台腔体内的水汽残存，减少了清洁时间，提高了清洁效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213207281 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021728532.4 (22)申请日 2020.08.17 (73)专利权人 泉芯集成电路制造(济南)有限公

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