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扫描电子显微镜高压部树脂真空灌装装置.pdfVIP

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  • 2023-03-06 发布于四川
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扫描电子显微镜高压部树脂真空灌装装置.pdf

    本实用新型涉及一种扫描电子显微镜高压部树脂真空灌装装置，包括真空腔体、盖板以及用于连接真空泵的三通，盖板与真空腔体上端面法兰密封固连，三通固定于盖板上，所述的真空腔体内设有限位套筒，填充好环氧树脂的电镜高压部置于限位套筒内。本实用新型能够进行扫描电镜高压部的环氧树脂快速灌装，且性能稳定、装卸方便、寿命可靠；与传统真空灌装设备相比，本装置结构简单可靠，方便装卸，可在多场合下进行使用，灌装效率高，灌装质量好。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213260644 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202021755490.3 (22)申请日 2020.08.20 (73)专利权人 无锡量子感知研究所

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