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一种防止蒸镀物料凝结的PBN坩埚.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种防止蒸镀物料凝结的PBN坩埚.pdf

    本实用新型涉及一种防止蒸镀物料凝结的PBN坩埚，属于坩埚生产加工技术领域。坩埚包括主体和导流部，其中，导流部外表面设置PG导电层，PG导电层上涂覆一层PBN涂层。本实用新型通过对导流部的加热处理，使导流部温度不低于坩埚内温度，有效防止蒸镀物料凝结，提高生产效率，降低损耗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213295484 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202021758332.3 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人 山东国晶新材料有限公司

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