原创力文档- 1
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- 2023-03-07 发布于四川
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本发明涉及真空设备,具体是一种五轴真空位移台，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，本发明实现在超高真空环境下的样品的立体驱动，Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，中空构造，同时X、Y、Z向直线滑驱动顺畅，X、Y、Z三个方向的驱动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213302258 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021785249.5
(22)申请日 2020.08.25
(73)专利权人 国成仪器（常州）有限公司
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