原创力文档- 1
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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型公开了真空吸力检验设备，包括：设备机柜，用于设备的安装定位；吸持定位机构，设置于设备机柜的上方，用于IC芯片的定位；AFC空气过滤器，用于气体过滤及气压调节；真空发生器，用于气体压强的检测数显。本实用新型通过AFC空气过滤器和真空发生器的设置，能够对吸头座上的吸持模板处的吸力大小以及气密性进行检验，检验精度高，操作简单方便，从而达到提高对IC芯片加工的质量。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218566761 U
(45)授权公告日 2023.03.03
(21)申请号 202222244338.4
(22)申请日 2022.08.25
(73)专利权人 恩普千睿电子科技（苏州）有限公
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