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一种光学器件.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种光学器件.pdf

    本实用新型适用于光学芯片技术领域，提供了一种光学器件，该光学器件包括第一基板、第二基板、第一流道、第二流道、第一弹性组件以及第二弹性组件。第一基板和第二基板之间形成有用于填充液体的至少一个填充腔，第一弹性组件设置于第一流道内，用于封堵靠近第一流道的填充腔，第二弹性组件设置于填充腔内，用于封堵靠近第二流道的填充腔，第二弹性组件的弹性系数小于第一弹性组件的弹性系数。本实用新型提供的光学器件，第二弹性组件首先封堵填充腔的出口，随着填充腔不断地填充满，液体推动第一弹性组件封堵填充腔的入口，在实现液体填充

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213302555 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202021736444.9 (22)申请日 2020.08.17 (73)专利权人 深圳大学 地址 5

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