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一种碳化硅晶圆研磨抛光设备.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种碳化硅晶圆研磨抛光设备.pdf

    本实用新型涉及晶圆表面加工设备技术领域，公开一种碳化硅晶圆研磨抛光设备，所述研磨抛光设备包括：研磨部，所述研磨部对碳化硅晶圆进行表面研磨减薄处理；抛光部，所述抛光部内部对研磨过的碳化硅晶圆进行表面抛光加工；洁净部，所述洁净部对碳化硅晶圆进行清洁处理；输料部，所述输料部设置抛光部与研磨部、洁净部之间，用于碳化硅晶圆的输送清洗。本实用新型研磨抛光设备，通过输料部进行碳化硅晶圆的输送移料，全程采用水流输送，随时对碳化硅晶圆清洗，保持碳化硅晶圆洁净，同时在输送部设置清洗辊与清洗喷头，输送碳化硅晶圆同时进

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218556488 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202222241649.5 B24B 37/30 (2012.01)

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