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一种具有加热媒介的薄膜沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种具有加热媒介的薄膜沉积设备.pdf

    本实用新型公开的属于薄膜沉积设备技术领域，具体为一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其包括薄膜沉积设备、加热板、温度传感器和气体浓度传感器，所述薄膜沉积设备包括进气管、气体喷淋头和基座，所述进气管固定安装在薄膜沉积设备内腔的顶部，所述气体喷淋头固定安装在进气管的底部，所述基座固定安装在薄膜沉积设备内腔的底部，所述加热板固定安装在基座内腔的顶部，本申请文件中，能够通过本文件，便于对基座的温度进行控制，使薄膜成型的效果更好，更加的均匀，通过气体浓度检测，便于了解膜沉积设备内的气体浓度，方便操作记录，提高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213266680 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202022254382.4 (22)申请日 2020.10.12 (73)专利权人 广东顺德悦田薄膜有限公司

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