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晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机，晶圆预热机构包括：底座；加热器，设于底座，加热器的上表面形成为加热面；顶升组件，设于底座，顶升组件在顶升状态和非顶升状态之间可活动，顶升组件位于顶升状态时至少一部分承接晶圆使晶圆与加热面间隔开，顶升组件位于非顶升状态时不超出加热面，晶圆位于加热面，顶升组件从顶升状态向非顶升状态活动时加热器对晶圆进行非接触式加热以使晶圆逐步升温。根据本实用新型实施例的晶圆预热机构解决了由接触式加热使晶圆温度突然上升而导致的晶圆破裂问题，能够提高晶圆加热质量，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213287476 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202021419016.3 B05C 13/02 (2006.01)

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