原创力文档- 2
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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，用于转移晶圆盒货架的搬运设备包括夹持机构和送出机构，在夹持机构内设抓取机构和罩设在抓取机构外部的罩体，抓取机构的夹爪设备抓取放置有多个晶圆盒的货架；送出机构置于夹持机构底部，可带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。本实用新型的搬运设备可以抓取放置有多个晶圆盒的货架，一次性可以完成多个晶圆盒的运送，提高了运送效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213293966 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021726486.4
(22)申请日 2020.08.18
(73)专利权人 上海大族富创得科技有限公司
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