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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体和箱盖，所述箱体的上表面固定连接有箱盖，所述箱体的一侧设置有抽气装置，所述箱体的内部设置有水循环装置，所述箱体的内底壁固定连接有第一蒸发板，所述第一蒸发板的上方设置有第二蒸发板，所述第二蒸发板之间设置有镀膜腔。该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，通过立杆的设置，能够避免换热管与第二蒸发板直接接触，起到了保护和支撑的作用，通过水循环装置的设置，能够通过水泵将水箱内的冷水抽进箱体内，同时换热管将箱体内的水再排进水箱，达到水循环的目的，从而实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213327806 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022045469.0
(22)申请日 2020.09.17
(73)专利权人 山东沐东真空科技有限公司
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