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一种干冰微粒喷射清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种干冰微粒喷射清洗装置.pdf

    本实用新型提供一种干冰微粒喷射清洗装置，涉及干冰清洗领域。该干冰微粒喷射清洗装置，包括支撑固定机箱和干冰微粒喷射机架，所述支撑固定机箱的前端固定安装有控制面板，所述支撑固定机箱的下端固定安装有一号支撑底块，每组一号支撑底块远离支撑固定机箱的一端均活动安装有支撑滚轮，所述支撑固定机箱的上端开设有一号限位滑槽，所述一号限位滑槽的右端开设有二号限位滑槽。该干冰微粒喷射清洗装置，利用从可移动喷嘴高速喷出的干冰颗粒射流，与由旋转托盘带动高速旋转的半导体零部件上的杂质间的能量转移，同时利用液体CO2的良好的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213316609 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022263761.X (22)申请日 2020.10.12 (73)专利权人 江苏凯威特斯半导体科技有限公

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