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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置，包括壳体和蒸发室，壳体的内底壁与蒸发室固定连接，蒸发室内部设置有加热设备，蒸发室的顶端开设有投射孔，壳体的内侧壁固定连接有固定板，固定板的一侧固定连接有齿条，齿条的表面啮合有齿轮，齿轮的内壁固定连接有电机，电机的两端转动连接有活动块，活动块远离固定板的一端固定连接有基板。本实用新型在镀膜完成后，冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温，因外界的气压大于内部，通过单向阀防止外界的空气进入，当内部的气压大于外界时，内部的气体通过单向阀向外排气，同时温度检测仪检测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213327804 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022042689.8
(22)申请日 2020.09.17
(73)专利权人 山东沐东真空科技有限公司
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