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一种准分子灯.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种准分子灯.pdf

    本实用新型公开了一种准分子灯，包括透光容器、至少一对电极和具有滤波功能的介质膜层，所述透光容器内封装有放电用气体，所述至少一对电极之间能够形成使放电用气体发生电离的电场，介质膜层设置于透光容器的外表面。本实用新型通过在准分子灯高电场区外侧增加带有滤波功能的介质膜，使得准分子灯具有单色性好、输出功率高、稳定性和可靠性好等优点，有助于拓宽准分子灯的应用领域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213304066 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202022749878.9 H01J 65/04 (2006.01) (22)申请日 2

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