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一种半封闭式氮气吹扫装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种半封闭式氮气吹扫装置.pdf

    本实用新型属于半导体制造领域，提供了一种半封闭式氮气吹扫装置，包括可拆卸连接的上盖和下盖，上盖和下盖的内部结合面设置有工件放置腔，上盖内部在工件放置腔的上方设置有氮气注入腔，下盖内部在工件放置腔的下方设置有排气孔；上盖在氮气注入腔的顶部设置有若干进气孔，各进气孔贯穿上盖，上盖的上端面设置有多通路进气装置，多通路进气装置的顶部设置有进气管，侧面设置有若干输气管，每个输气管对应连接一个进气孔，输气管与进气管在多通路进气装置内部连通；进气管通过液氮管道连接有液氮贮槽。本实用新型提供的半封闭式氮气吹扫装

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213316591 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022254140.5 (22)申请日 2020.10.12 (73)专利权人 江苏凯威特斯半导体科技有限公

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