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晶圆位置采集机构及晶圆纠偏系统.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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晶圆位置采集机构及晶圆纠偏系统.pdf

    本申请涉及一种晶圆位置采集机构及晶圆纠偏系统，该采集机构包括：透光元件、光源组件和摄像头，透光元件具有相背的第一侧和第二侧，透光元件通过第一侧与待测晶圆相邻设置；光源组件设置于透光元件的第二侧，光源组件发出的光线透过透光元件；摄像头设置于透光元件的第二侧，摄像头包括镜头以及数据传输件。透光元件贴近待测晶圆，为其提供较为密闭环境。光源组件发出的光线能够透过所述透光元件，提供较好的成像环境。摄像头拍摄待测晶圆的位置图像，并通过数据传输件将其发送给晶圆调节机构，晶圆调节机构获取待测晶圆的位置信息，进而

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213304093 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202120568797.0 (22)申请日 2021.03.19 (73)专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司

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