1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种提高曝光机曝光精度和抗干扰能力的触发电路.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约6.52千字
  • 约 7页
  • 2023-03-08 发布于四川
  • 举报

一种提高曝光机曝光精度和抗干扰能力的触发电路.pdf

    本实用新型公开了一种提高曝光机曝光精度和抗干扰能力的触发电路，属于曝光机技术领域。所述触发电路由差分单端转换电路、信号分路电路、电源降压电路和信号输入输出接口电路组成；能够同时输出多路触发脉冲，可以有效地将差分信号反馈给DMD数字微镜，每路之间延迟时间小，整体延时小，同时差分信号高度免疫外界电磁干扰，故提高了触发电路信号的一致性和抗干扰性，解决了因外界因素影响，导致信号会出现偶发性丢失的问题，减小曝光图形与实际图形的偏差，提高产品良率，提高曝光机曝光性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213305542 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202022664467.X (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人 江苏影速集成电路装备股份有限

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >