原创力文档- 0
- 0
- 约8.18千字
- 约 8页
- 2023-03-08 发布于四川
- 举报
本实用新型具体涉及一种精密真空镀膜系统，本精密真空镀膜系统包括：镀膜环境控制装置，用于输出氩气；和镀膜装置，连接所述镀膜环境控制装置，用于真空中产生电场电离氩气产生氩离子轰击靶材表面，使靶材发生溅射；传动装置，用于接收溅射出的靶材以对物料进行镀膜，并夹持物料转动，以使溅射出的靶材覆盖物料表面；以及监测控制装置，连接所述镀膜装置，用于采集镀膜装置工作参数，并根据镀膜装置工作参数控制镀膜环境控制装置的氩气输出量；本实用新型通过电场电离氩气产生氩离子轰击靶材表面，使靶材溅射至物料表面进行镀膜，实现磁控
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213327812 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022197303.0
(22)申请日 2020.09.29
(73)专利权人 亚芯半导体材料（江苏）有限公司
您可能关注的文档
- 圆板打印记定位装置.pdf
- 一种口罩生产装置.pdf
- 异型封头抛光装置.pdf
- 利用中频炉处置废金属桶的资源化利用系统.pdf
- 一种风电叶片检修用打磨装置.pdf
- 一种具有防尘功能的曲轴皮带轮.pdf
- 一种具备自动张紧轮发电机轮系.pdf
- 一种桶装物料提升机.pdf
- 一种桶装提升机卸料结构.pdf
- 一种RF接头自动化光学筛选装置.pdf
- 2025福建宁德市福安市国资服务中心招聘市属国企工作人员笔试笔试历年参考题库附带答案详解.docx
- （共19页PPT）第四单元 封建时代的亚洲国家.pptx
- 2026年地质工程师职称考试冲刺押题试卷（含答案）.docx
- 2026年市场营销策划与管理专项训练试卷.docx
- 2026年事业单位招聘心理咨询师心理测评专项训练卷.docx
- 2025福建建达集团建设工程管理有限公司委托招聘1人笔试历年参考题库附带答案详解.docx
- 2025福建建达集团建设工程管理有限公司招聘1人笔试历年参考题库附带答案详解.docx
- 2026年高校生物技术实验技能考核试卷（附答案）冲刺押题.docx
- 2025福建厦门港务海运有限公司航运主管（机务）社会招聘1人笔试历年参考题库附带答案详解.docx
- 2026年旅游管理与服务质量专项训练试卷.docx
文档评论（0）