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一种微小空间三维形貌测量装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种微小空间三维形貌测量装置.pdf

    本实用新型涉及一种微小空间三维形貌测量装置，包括光源组件和至少两组探测组件，所述探测组件包括衬底，所述衬底上固设有一层绝缘层，所述绝缘层上设置有若干根相互平行且形状尺寸相同的硅导线，且相邻的硅导线之间距离相等，每根硅导线两端均引出导线与电位测量计相连，所述电位测量计与处理器相连；所述光源组件通过激光对被测样品表面进行逐行扫描，被测样品反射的激光照射到所述探测组件上时，硅导线与衬底之间发生近场耦效应，并使得硅导线与衬底形成的谐振器产生振幅完全抑制，所述处理器根据与硅导线相连的电位测量计输出的连续信

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213301121 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202022658935.2 (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人 中国科学院上海微系统与信息技

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