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一种用于激光二极管芯片快速扩晶的装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种用于激光二极管芯片快速扩晶的装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于激光二极管芯片快速扩晶的装置，涉及到激光二极管芯片扩晶领域，包括箱体，所述箱体的表面通过转轴转动连接有箱门，所述箱体的底部固定安装有扩晶块，所述扩晶块的顶部中心处开设有扩晶圆模槽，所述扩晶块的底部开设有第一空腔，所述第一空腔内部设置有顶出机构，所述箱体的顶部固定安装有液压杆，所述液压杆的底部固定安装有扩晶压圆盘，所述扩晶压圆盘的内部开设有第二空腔，所述第二空腔内部设置有加热机构，所述箱体内部设置有快速冷却机构。本实用新型能够对压型完成的晶圆进行快速冷却，加快塑性速度，提高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213341069 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022508293.8 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人 武汉智汇芯科技有限公司

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