原创力文档- 1
- 0
- 约7.79千字
- 约 9页
- 2023-03-08 发布于四川
- 举报
本实用新型提供了一种自动开门无尘烤箱，包括箱体、安装在箱体上的气动门组件、设置在箱体内的承载组件、加热组件、设置在箱体上的气动门组件以及安装在箱体顶部的除尘组件，气动门组件包括设置在箱体侧壁上的门板，承载组件包括对应门板设置的承载架，加热组件包括安装在箱体侧壁上的换热排管，换热排管沿承载架的高度方向均匀铺设，除尘组件包括固定安装在箱体顶壁上的吸尘罩以及固定安装在箱体顶壁上的吸尘风机，吸尘罩罩设承载架设置，吸尘风机的转轴伸入吸尘罩中，晶圆片靠近箱体时，门板沿箱体打开，晶圆片可穿插至承载架上，在热处
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213340288 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022280483.9
(22)申请日 2020.10.13
(73)专利权人 常州常耀半导体科技有限公司
文档评论（0）