原创力文档- 3
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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开一种曝光设备。曝光设备用来对设置于一金属滚轮的一外表面的一光阻层曝光，使光阻层形成一图案化光阻层，曝光设备包括间隔地环绕设置于金属滚轮的一环状光罩以及呈环形并间隔地设置于环状光罩的一曝光装置，并且环状光罩以及曝光装置均能用来沿金属滚轮的一轴心方向任意移动。曝光装置用来对光阻层曝光，而曝光装置发射的一初始光线通过环状光罩后形成图案化光线，并且图案化光线能用来照射光阻层，使光阻层形成图案化光阻层。本实用新型的其中一个有益效果在于，本实用新型所提供的曝光设备能通过“环状光罩以及环形并间隔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213302761 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202022664033.X
(22)申请日 2020.11.17
(73)专利权人 光群雷射科技股份有限公司
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