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硅片承载器底托杆.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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硅片承载器底托杆.pdf

    硅片承载器底托杆，它涉及硅片生产设备技术领域；它包含托杆本体、分隔齿、右端板、左端板、右螺杆、右螺母、左螺杆、左螺母和橡胶圈；所述的托杆本体上并列固定有若干分隔齿，托杆本体的两端分别固定有右端板和左端板，右端板和左端板的外侧分别固定有右螺杆和左螺杆，右螺杆和左螺杆上分别旋接有右螺母和左螺母；所述的橡胶圈位于托杆本体上分隔齿两侧的根部位置，且橡胶圈的两端分别套设固定在右螺杆和左螺杆上；所述的右端板和左端板上分别设置有凹槽，橡胶圈镶嵌在凹槽内。本实用新型所述的硅片承载器底托杆，橡胶圈使用寿命长，更换

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213332165 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022195222.7 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人 张献 地址 215

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