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本实用新型涉及涂层设备技术领域,尤其是指一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构,其包括真空罩、液冷载台组件和弹性密封件,液冷载台组件包括液冷载台、出液空心支撑管和旋转驱动件,弹性密封件为弹性环状体,液冷载台内部设有液冷空腔,液冷空腔转动安装有旋转导液盘,旋转驱动件的输出端与旋转导液盘连接,液冷空腔导入冷却液,旋转导液盘用于搅动液冷空腔内部的冷却液。本实用新型能够有效、快速地对液冷载台实现降温,使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作,避免液冷载台烧损,还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性,刀具表
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213388886 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202021871521.1
(22)申请日 2020.08.31
(73)专利权人 广东鼎泰机器人科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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