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本实用新型涉及涂层设备技术领域,尤其是指一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构,其包括真空罩、发热丝拉紧件以及设置于真空罩内的热源组件,热源组件包括热丝网件,热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝,热丝网架设置于真空罩内部,发热丝拉紧件固定安装于热丝网架,发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝。通过发热丝拉紧件进行拉紧,控制多个发热丝的张紧度保持一致,实现沉积温度均匀,使得发热均匀,刀具刀刃不同位置的沉积温度保持一致,刀具刀刃受热均匀,避免刀柄出现黑化现象,大大提高良品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213388885 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202021871963.6
(22)申请日 2020.08.31
(73)专利权人 广东鼎泰机器人科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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