原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了属于磁控溅射靶材制造领域的一种磁控溅射环热处理工装；其中三个单孔夹持组和双孔夹持组通过筋板呈环形安装于料盘的上端面；溅射环环体上开有五个安装孔，其中两个安装孔位于矩形开口的两侧；溅射环环体中位于矩形开口的两侧的两个安装孔通过销轴安装于双孔夹持组内，不位于矩形开口的两侧的其余三个安装孔通过销轴安装于单孔夹持组内。本实用新型相比于无工装时溅射环自然平铺或叠加放置，使用热处理工装可实现逐层叠放，可充分利用炉膛空间，提高热处理效率，节约了生产成本。通过与溅射环的五点接触式重叠装配，有效保
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213388818 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022239700.X
(22)申请日 2020.10.10
(73)专利权人 有研亿金新材料有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
文档评论（0）