一种晶体生长炉.pdfVIP

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本实用新型提供了一种晶体生长炉,包括炉体,所述炉体外依次设置有水冷层和隔热防震层,所述隔热防震层内填充有气凝胶颗粒,所述隔热防震层外侧设置有感应加热线圈,所述炉体的两端分别安装有上盖和下盖。通过在炉体水冷层外设置有隔热防震层,隔热防震层内的气凝胶颗粒具有隔热、防弹高弹性、高孔隙率和防振等特性,炉体中使用气凝胶颗粒作为填充层,可以很好的起到隔热的作用,杜绝炉体内外热量的交换,保证炉体内外环境的稳定性,同时气凝胶颗粒的高孔隙率,可以有效避免外界振动对腔体内的影响,保证晶体生长始终处于一个稳定的环境下

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388971 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022050304.2 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司

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