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- 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开了一种基于机器视觉的晶圆缺口检测装置，包括遮光箱体，遮光箱体的前端面上开设有晶圆传输口，晶圆传输口上通过设置铰链铰接有遮光盖板，遮光箱体内设置有晶圆承载平台，晶圆承载平台上方设置有装夹机构，装夹机构上接有连接轴的一端，连接轴的另一端自遮光箱体的顶壁向外穿出，连接轴穿出的端部上接有转动机构，遮光箱体底部内壁上设置有处于晶圆本体缺口设定位置正下方的CCD传感器，遮光箱体的顶部外壁上设置有处于晶圆本体缺口设定位置正上方的激光发生器，激光发生器的发射端呈竖直向下穿入遮
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213424931 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021938106.3
(22)申请日 2020.09.08
(73)专利权人 南京禅生半导体科技有限公司
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