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基板承载装置.pdfVIP

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  • 2023-03-11 发布于北京
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基板承载装置.pdf

    本实用新型所提供的基板承载装置，可运用于面下型(FaceDown)的化学气相沉积反应腔，能使基板(晶圆)以反应面朝下的方式与反应气体进行接触，让粉尘因为重力关往下沉降而不容易附着于基板的反应面，以改善因粉尘飘散而造成的良率损失问题。其次，基板承载装置还能导入气浮气体，以使基板悬浮与旋转，让基板的受热效果更为均匀与精确，进而改善基板成膜效果更不均的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213447298 U (45)授权公告日 2021.06.15 (21)申请号 202022427117.1 (22)申请日 2020.10.27 (30)优先权数据

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