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本实用新型属于半导体技术领域,提供一种耐高压屏蔽栅功能MOSFET芯片,包括N+衬底层,在所述N+衬底层上方设有N‑型基区层,在所述N‑型基区层上方嵌入有两个P型基区,在每个所述P型基区上方嵌入有两个N+集电区,屏蔽栅设置在两个所述P型基区之间深入所述N‑型基区层内部,其特征在于:所述屏蔽栅覆盖沟槽薄氧,所述沟槽薄氧内部设置有连栅极多晶硅,所述连源极多晶硅覆盖有沟槽厚氧,所述沟槽厚氧、沟槽薄氧底部设置P+型基区,所述P+型基区外部设置有P‑型包围层。能够增大了器件的击穿电压,降低了导通电阻,且有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213424996 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202022591957.1
(22)申请日 2020.11.11
(73)专利权人 深圳市尚芯微电子科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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