一种用于激光曝光机的激光箱的恒温控制系统.pdfVIP

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  • 2023-03-11 发布于四川
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一种用于激光曝光机的激光箱的恒温控制系统.pdf

本实用新型公开了一种用于激光曝光机的激光箱的恒温控制系统,包括水冷式冷水机组、温度传感器、控制系统;所述水冷式冷水机组包括水管箱,所述水管箱和激光箱层叠设置;所述温度传感器与所述控制系统电连接,所述水冷式冷水机组由所述控制系统控制连接。本实用新型可以实现激光箱温度的实时采集,通过主控板进行激光箱温度均值计算,得到激光箱精准的实时温度值,并与激光箱温度阈值进行计算,实时进行激光箱温度恒温调控。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213460456 U (45)授权公告日 2021.06.15 (21)申请号 202022737135.X (22)申请日 2020.11.24 (73)专利权人 江苏迪盛智能科技有限公司

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