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本实用新型公开一种薄膜压力传感器,包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层,所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片,所述第一箔片形成第一电极;所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片,所述第二箔片形成第二电极;所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔,本实用新型薄膜压力传感器采用箔片作为导电线路,相较于现有银浆线路的压力传感器结构,没有银浆印刷对环境的污染,同时导电性能更好、抗氧
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213516113 U
(45)授权公告日 2021.06.22
(21)申请号 202022713762.X
(22)申请日 2020.11.20
(73)专利权人 深圳市慧力迅科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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