原创力文档- 0
- 0
- 约1.02万字
- 约 10页
- 2023-03-13 发布于四川
- 举报
本实用新型提供了一种光刻机的送料装置，属于光刻机技术领域。包括支撑组件、运送组件和翻转组件，其中，支撑组件中的支撑架固定于支撑箱。运送组件中的第一驱动件固定于支撑架，安装块固定于第一驱动件，齿条固定于安装块，齿轮与齿条传动连接，第一转轴一端固定于齿轮，另一端与摇摆杆固定，第一转轴与支撑架转动连接。翻转组件中的安装架固定于摇摆杆的一端，电机固定于安装架的一侧，第二转轴的一端固定于电机，第二转轴的另一端与安装架转动连接，第二驱动件固定安装于第二转轴，吸盘固定安装于第二驱动件，吸盘与气泵连通，气泵固定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213536531 U
(45)授权公告日 2021.06.25
(21)申请号 202022252099.8
(22)申请日 2020.10.12
(73)专利权人 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公
您可能关注的文档
- 一种大型反射薄膜的定位装置.pdf
- 一种园林设计用辅助装置.pdf
- 一种动物脑损伤试验台.pdf
- 一种燃气表壳生产用边角切割设备.pdf
- 水利施工护架加强稳定机构.pdf
- 一种装夹便利的模具钢.pdf
- 一种尿素袋搬运机器人的夹持装置.pdf
- 一种自动分类垃圾桶.pdf
- 一种不锈钢花洒手柄连接结构.pdf
- 一种用于集成电路加工用反应腔室.pdf
- 《GB/T 46962-2026印刷技术 安全印刷过程管理》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 46962-2026印刷技术 安全印刷过程管理.pdf
- GB/T 46962-2026印刷技术 安全印刷过程管理.pdf
- 中国国家标准 GB/T 32580.5-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第5部分：27.5 kV和2×27.5 kV金属封闭开关设备和控制设备.pdf
- 《GB/T 32580.5-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第5部分：27.5 kV和2×27.5 kV金属封闭开关设备和控制设备》.pdf
- GB/T 33248-2026印刷技术 胶印橡皮布.pdf
- GB/T 18282.6-2026医疗产品灭菌 化学指示物 第6部分：用于小型蒸汽灭菌器性能测试的二类指示物和过程挑战装置.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18282.6-2026医疗产品灭菌 化学指示物 第6部分：用于小型蒸汽灭菌器性能测试的二类指示物和过程挑战装置.pdf
- 中国国家标准 GB/T 31308.1-2026行政、商业和行业中的数据元、过程和文档 长效签名 第1部分：CMS高级电子签名(CAdES)规范.pdf
- GB/T 31308.1-2026行政、商业和行业中的数据元、过程和文档 长效签名 第1部分：CMS高级电子签名(CAdES)规范.pdf
文档评论（0）