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本发明涉及一种可调式高精密晶片磨边载台，包括安装在基座上承载固定件，承载固定件包括夹紧装置及对称设置在夹紧装置前后两侧的两个负压载台；夹紧装置包括旋转臂、竖置安装在基座上的气缸，气缸的气缸杆末端与旋转臂中部相连接，旋转臂两端均安装有压板；负压载台包括安装在支架上的纵向丝杆滑台，纵向丝杆滑台上对称设置有两个同步相向或相背运动的滑台A，滑台A上安装有横向丝杆滑台，横丝杆滑台上对称设置有两个同步相向或相背运动的滑台B，滑台B上安装有负压吸附台，磨边载台可以自由调整真空载台的大小以适应各种型号大小的晶片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213519883 U
(45)授权公告日 2021.06.22
(21)申请号 202022767201.8
(22)申请日 2020.11.26
(73)专利权人 福州大学
地址 3
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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