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研磨垫及研磨系统.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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研磨垫及研磨系统.pdf

    本实用新型实施方式提供一种研磨垫及研磨系统。研磨垫具有研磨液连通区域以及彼此相对的研磨面及背面，且包括多个穿孔及至少一连接沟槽。多个穿孔位于研磨液连通区域内，且分别贯穿研磨面及背面。至少一连接沟槽配置于背面中且位于研磨液连通区域内，以及至少一连接沟槽连接多个穿孔。研磨液连通区域位于研磨垫的半径20％至50％之内的中央区域。所述研磨垫及研磨系统使研磨液具有特别的流场分布。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213561898 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202021930262.5 (22)申请日 2020.09.07 (30)优先权数据 108132843

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